WCT-120PL荧光少子寿命测试仪
发布时间:2024-04-07
WCT-120PL荧光少子寿命测试仪:光致发光
分别采用瞬态光电导和荧光方法测量硅片到太阳能电池半成品或者成品电池的少子寿命。
WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命。瞬态光电导衰减法(PCD)和荧光方法两种互为补充。操作和使用起来和WCT120一样方便。
主要应用:
通过使用QSSPC或短暂的寿命测量和PL测量制造过程监控和优化步骤。
其它功能:
•初始材料(硅片)质量监控
•(硅片)加工过程中的重金属污染晶圆检测
•评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散
•使用隐含的VOC测量来查找生产过程引入的漏电因素
•迭代计算qsspl和QSSPC数据得到衬底掺杂情况
WCT-120PL晶片寿命测量工具采用的是与WCT-120一样独特的测量与分析技术,同时增加了光致发光(PL)检测器用来测量样品的PL寿命及掺杂情况。该系统采用的是准稳态光电导(QSSPC)寿命测量方法及瞬态光电导衰退(PCD)寿命测量方法,同时还补充采用了校准后的PL寿命测量方法。该工具还可以作为标准的WCT-120使用。